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Scanning Electron Microscopy
Test Specimens
Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimen
MRS-3 Reference Standard
MRS-4 Magnification Standard and Stage Micrometer
New SEM Calibration Specimens QUANTIFOIL®
High Magnification, High Resolution Calibration Reference and Traceable Standard for SEM, AFM, Auger, and FIB
Low-Mag Calibration Ruler -
Grating Replica, Waffle
Agar Copper Mesh -
Silicon Test Specimen
Low-Mag Calibration Ruler100 markings, divisions 0.01mm on disc
Nickel-plated copper calibration ruler disc.
Select a mount of your choice listed below.
If you wish to specify an unlisted mount, choose 630.
Mounted Discs are listed below. A 500, 1000 or 2000 mesh
grid or magnetic tape mounted with the Disk may be ordered
as a special (not listed). see information on mounts |
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Grating Replica, Waffle(Crossed-Lines)Shadowcast carbon and/or silicon monoxide prepared on a mount of your choice and carefully packaged. 2,160 lines per millimeter. See our number 252 Magnification Calibration slide-rule for quick assistance in obtaining magnification based on space counts of this product. Please specify the mount of your choice. "604" is used for special orders, or unlisted mounts. see information on mounts |
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PELCO® Technical Notes,
SEM Magnification Calibration Diffraction Grating Replica (PDF 712KB)
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Agar Copper Mesh on Folding Grids (unmounted)For scanning electron microscopes and the low magnification range of transmission electron microscopes. The mesh is held within a folding grid. see information on mounts |
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Silicon Test Specimenmagnification calibration image distortion check; SEM, LMSingle crystal silicon, 5mm x 5mm. The squares repeat every 10µm (0.01mm). The dividing lines are about 1.9µm wide, formed by electron beam lithography. A broader marking line is written every 500µm (0.5mm) which is useful for light microscopy. Lines and squares are etched, approximately 2µm wide x 200nm deep. see information on mounts |
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Many types of samples can be mounted directly onto the Silicon Test Specimen so that an internal calibration is obtained on the micrograph.
A certificate of calibration can be supplied for the Silicon Test Specimen at extra
cost. The guaranteed accuracy is 1%. The basic reference specimen is calibrated by the
National Physical Laboratory, of England, by laser beam interferometry.
Planotec Silicon Test Specimens with calibration certificate for mounted test specimens only
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